CAS號碼：

75-24-1

MDL號碼：

MFCD00008252

分子式：

C ₃ H ₉ Al

配方重量：

72.09

化學式：

（CH ₃）₃ Al

顏色和形式：

無色液體。

注意：

可在ALD氣瓶中預先包裝 - 見98-4003,98-4004。

目錄編號

描述

CAS號碼

98-8000

水，99.999％（PURATREM），98-0295，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中

7732-18-5

98-4009

用于CVD / ALD的50 mlSwagelok®氣瓶（96-1070）中含有雙（乙基環戊二烯基）釕（II），98％（99.9％-Ru），44-0040

32992-96-4

98-4010

雙（乙基環戊二烯基）鎂，分鐘。用于CVD / ALD的高溫50mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中含有98％，12-0510

114460-02-5

98-4006

雙（乙基環戊二烯基）鎂，分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有98％，12-0510

114460-02-5

98-4005

二乙基鋅，分鐘。用于CVD / ALD的高溫50mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中含有95％，93-3030

557-20-0

98-4000

二乙基鋅，分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有95％，93-3030

557-20-0

98-4001

二甲基鋅，99％，97-5061，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中

544-97-8

98-4002

二甲基鋅，電解質 克。（99.999％-Zn）PURATREM，97-5060，含50 ml電解拋光的Swagelok®氣瓶（96-1077），用于CVD / ALD

544-97-8

98-4042

四（二甲氨基）鋯（IV），99％（99.99％-Zr）TDMAZ，40-4115，包含在50ml用于CVD / ALD的Swagelok®圓筒（96-1070）中

19756-04-8

98-4012

用于CVD / ALD的50毫升Swagelok®氣瓶（96-1070）中含有四（二甲氨基）鋯，99％TDMAZ，40-4100

19756-04-8

98-4015

四（二甲氨基）鈦（IV），99％TDMAT，93-2240，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中

3275-24-9

98-4016

四（二甲氨基）鈦（IV），99％TDMAT，93-2240，含在高溫50 mlSwagelok®氣瓶（96-1071）中，用于CVD / ALD

3275-24-9

98-4018

三[N，N-雙（*基甲硅烷基）酰胺]釔（III），min。用于CVD / ALD的50 mlSwagelok®氣瓶（96-1070）中含有98％（99.9％-Y）（REO），39-1500

41836-28-6

98-4021

四（二甲氨基）鉿，98 +％（99.99 +％ - Hf，<0.2％-Zr）TDMAH，PURATREM，72-8000，包含在用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中

19782-68-4

98-4022

四（二甲氨基）鉿，98 +％（99.99 +％ - Hf，<0.2％-Zr）TDMAH，PURATREM，72-8000，包含在50ml用于CVD / ALD的Swagelok®圓筒（96-1071）中

19782-68-4

98-4024

（*基）甲基環戊二烯基鉑（IV），99％，78-1350，包含在用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中

94442-22-5

98-4026

（*基）甲基環戊二烯基鉑（IV），99％，78-1350，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶高溫閥（96-1071）中

94442-22-5

98-4027

氯化硅（IV），光纖級（99.9999％-Si，50ppm-Fe）PURATREM，98-0147，包含在50 ml電解拋光的Swagelok®氣缸（96-1077）中，用于CVD / ALD

10026-04-7

98-4030

異丙醇鈦（IV），分鐘。用于CVD / ALD的50mlSwagelok®圓筒（96-1070）中含有98％，93-2216

546-68-9

98-4033

氯化鈦（IV），99％，22-1150，包含在50 ml用于CVD / ALD的Swagelok®氣瓶（96-1070）中

7550-45-0